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科技有温度。

文 | 张超

根据韩国媒体《中央日报》《亚洲日报》等媒体报道,日本7月份调整对韩国材料出口政策,将韩国删除出白色国家(出口优待国家)名单,列出的出口限制产品清单多达1100余种,其中就包括“氟聚酰亚胺”“光刻胶”“高纯度氟化氢”等韩国OLED和半导体产业的关键材料。

目前,韩国的三星电子和SK海力士等巨头纷纷感受到了生产危机,各韩国企业半导体、面板企业近期正在对韩国、中国大陆、中国台湾的相关产品进行替代测试,希望解决燃眉之急。

这几种材料为何如此重要?

韩国贸易协会表示,韩国面板企业需求的OLED用氟化聚酰亚胺、半导体用光刻胶超过90%从日本进口,而半导体用的高纯度氟化氢几乎是100%进口自日本。

据了解,聚酰亚胺就是业内所称的PI,含氟聚酰亚胺就是添加了氟的PI,PI作为柔性OLED基板材料,类似于TFT-LCD中的玻璃基板,起到载体作用,属于OLED行业中的核心材料,日本的钟源化学、东京应化、日本东丽、日本JSR等日企几乎垄断了材料的供应。

聚酰亚胺膜

光刻胶是一种对光敏感的混合液体,通过曝光源的照射或辐射,经光刻工艺将设计所需要的微细图形从掩膜版上转移到待加工基片上,主要应用于集成电路芯片、发光二极管(LED)、晶圆级先进封装等制程上。光刻胶是半导体集成电路生产制造的核心材料,光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%,并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%~60%。

光刻胶目前被日本和欧美企业垄断,前五大厂商占据了全球87%的份额,日本JSR、东京应化、日本信越与富士电子材料市占率合计达到72%,半导体用光刻胶日本和美国企业垄断了市占率的90%,在更细分领域日本企业市占率还会更高。

使用日本限制出口韩国的氟化氢、感光剂等制造半导体的过程

高纯度氟化氢(液态称为氟氢酸),主要是指气态高纯无水氟化氢(非液态的电子级氢氟酸),用于半导体干法清洗与刻蚀环节,全球主要供应商是日本的Stella Chemifa、昭和电工、关东电化、大阳日酸和中央硝子等,韩国半导体生产商使用的氟氢酸43.9%来自日本。

韩国企业开展自救措施

面对即将无米下锅的窘境,韩国企业也都积极想办法自救。

SK海力士方面近期计划着手自产高纯度氟化氢,SK集团的相关人士还对媒体表示,“我们正在以今年底或明年初提供高纯度氟化氢样本为目标,开展相关研发工作。早在日本对韩实施半导体关键材料出口管制之前,公司已有意着手生产高纯度氟化氢。”

《亚洲日报》关于SK海力士的报道

韩国半导体业内人士说,在可以使用较低纯度的氟化氢清洗工艺中,韩国企业主要使用本国产氟化氢,而在较细致的蚀刻工艺中,需使用技术先进的日本产高纯度氟化氢产品。日本产的高纯度氟化氢纯度为99.9999999999%(12个9纯度)。而在使用氟化氢时,10个9和12个9纯度相差100倍,这在半导体制造工艺中有着巨大差异,韩国企业难以在短时间内赶超长期在此方面技术领先的日本企业。

三星电子则与多家半导体原材料生产企业进行联系,对这些公司的产品能否替代日产材料展开调查,并决心替换所有日本产品。

中国原材料能否替代日本原材料还是未知数

在韩国半导体厂商忙于寻找原材料之际,中国和韩国媒体披露了中国滨化集团电子级氢氟酸已成功拿到部分韩国半导体厂商的批量订单、SK海力士在和中国凯圣氟化学接触以协商供应方案的消息。

上海证券报的相关报道

中国原材料似乎成为了韩国半导体产业的救命稻草,这是不是意味着中国产的原材料有能力替代日本原材料了?

韩国《亚洲日报》援引三星电子表态称,目前中国企业确实希望能出口更多氟氢酸。但更换供货商以后,材料的试验最短需要3至4个月时间,并且要进行多个项目测试。从目前情况来看,三星并不会马上签订氟氢酸供货协议。

但可以肯定的是,韩国企业也一直在对包括中国大陆、中国台湾、韩国等企业生产的高纯度氟化氢进行测试。

《亚洲日报》8月7日又表示,三星替换产品的把控十分严格,部分产品已进入实际生产线测试阶段。根据业界预测,三星等韩国半导体制造企业更换材料的作业需要短则6个月,长则1年以上的时间,目前替换工作的具体范围、阶段以及何时结束等都还不便透露。

另外,也有媒体表示,此前三星等都采用高纯度氟化氢技术,这项技术日本占据了绝对领先地位,中国公司生产的氟化氢在纯度上还达不到日本水平,因此三星此次测试非日本制产品后能否实际进行采用仍然是未知数。

中国企业已经有了突破和布局

根据现有数据统计,今年一至五月份韩国企业进口的氟化氢,以总价额计分别为中国大陆占46.3%,日本43.9%,中国台湾9.7%。而其他两种材料光刻胶和氟化聚酰亚胺,韩国从中国大陆进口几乎为0。

中国电子材料行业协会近日在微信公众号上发文分析,平板显示材料及半导体材料的整体国产化仍处于较低水平,特别是在中高端领域,亟待突破的产品、技术非常之多。但是这三种重要产品,国内还是有了一定成绩,也有相关企业的布局。

高纯气态氟化氢方面,中巨芯是国内唯一一家有能力规模化生产供应电子级氟化氢气体,并通过国内12英寸晶圆厂测试的企业。中巨芯的全资子公司,正是此前跟SK海力士接触的凯圣氟化学。

浙江凯圣氟化学有限公司

凯圣氟化学全名浙江凯圣氟化学有限公司,创建于2003年6月,是上市公司浙江巨化股份有限公司的子公司(巨化股份与国家大基金等共同合资公司设立中巨芯科技有限公司,凯圣氟化学为中巨芯全资子公司),公司位于衢州高新技术产业园区。产品主要包括电子级氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸、氨水、BOE、poly蚀刻液以及电子级氯气、氯化氢,电子级氟化氢等含氟系列气体,主要用于集成电路、平板显示等制造过程中的干式和湿式清洗、蚀刻、成膜及掺杂等工艺。

此前宣布拿到韩国半导体厂商订单的中国滨化集团,也是国内氟化氢行业的龙头企业。集团位于山东省滨州市,产业涵盖盐化工、石油化工、精细化工等领域,产品覆盖全球100多个国家和地区。此前引进台湾技术新建6000吨/年电子级氢氟酸装置于2018年7月实现量产,目前该装置已稳定运行一年有余,品质已得到国内第三方检测机构的认证,并成功向国内部分8-12英寸半导体芯片制造企业稳定供货。

滨化集团化工厂全景

另外,上市公司多氟多(多氟多化工股份有限公司)在回答投资者提问时,也提到了跟LG集团存在业务关系。据了解,多氟多成立于1999年12月,是致力于高性能无机氟化物、电子化学品、锂离子电池材料、新能源汽车的研发、生产和销售的高新技术企业,也是我国无机氟化工行业第一家上市公司。

多氟多化工

光刻胶方面,北京科华(北京科华微电子材料有限公司)能够批量供应半导体工艺用i线光刻胶,约占20%左右的国内市场份额,公司生产的KrF光刻胶在部分非关键层上开始小批量应用。公司官网显示,北京科华一家中美合资企业,成立于2004年,产品覆盖KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂,产品打入了中芯国际、华润上华、杭州士兰、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等供应体系。

北京科华微电子材料有限公司

其他诸如苏州晶瑞化学股份有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、上海新阳半导体材料股份有限公司等企业在光刻胶领域也有涉及和布局。

氟化聚酰亚胺方面,江苏艾森(江苏艾森半导体材料股份有限公司)的OLED平坦化层制作用的光敏聚酰亚胺单体及树脂合成技术完全自主研发,配合感光剂制作成感光型聚酰亚胺光刻胶,主要应用于OLED平坦化层,具有优良涂布均一性和曝光宽容度等特性。

中国电子材料行业协会表示,韩国目前对于采购国内材料持积极态度,增加了国内厂商的测试机会。一旦测试成功,对国内厂商来说,将是国际市场拓展的极好机遇。

同时,这也是一次危机警示,给国内电子材料产业甚至整个平板显示及半导体产业敲响了警钟,通过梳理可以发现,国内上游材料业的发展并没有紧跟下游企业的发展,希望国内相关产业能够以此为契机,加强上下游通力合作,推动整个产业链协同发展。

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